Maski do tych procesów wykonywane są w typowych technikach mikroelektronicznych, podobnych do stosowanych przy wytwarzaniu przyrządów półprzewodnikowych i układów scalonych (np. fotolitografia).
Większość zwykłych podzespołów elektronicznych ma swoje odpowiedniki mikroelektroniczne: tranzystory, kondensatory, induktory (solenoidy), rezystory, diody oraz oczywiście izolatory i przewodniki - wszystkie występują także w urządzeniach mikroelektronicznych.
