Bei der Augerelektronenspektroskopie wird die Probe mit einem Primärelektronenstrahl angeregt und die emittierten Augerelektronen werden in Abhängigkeit ihrer kinetischen Energie detektiert . Die kinetischen Energien der Augerelektronen sind dabei elementspezifisch.
Durch seine hohe Oberflächenempfindlichkeit eignet sich die Augerelektronenspektroskopie in Verbindung mit einer Ionenkanone zur Aufnahme von Tiefenprofilen mit einer Tiefenauflösung von etwa 5 nm.
www.ise.fraunhofer.deIn Auger electron spectroscopy, the sample is excited by a primary electron beam and the Auger electrons emitted are detected as a function of their kinetic energy, which varies from element to element.
Owing to its high surface sensitivity, Auger electron spectroscopy, when used in combination with an ion gun, is suitable for recording depth profiles with a depth resolution of around 5 nm, enabling the layer structure of a multi-layer system to be characterized.
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