Äußerste Präzision beim Positionieren und gleichzeitig höchste Steifigkeit und thermische Stabilität durch luftgelagerte Achsen auf Granitbasis
Automatisierte Justage von Objektiven im Submikrometer Bereich - durch zusätzliche Ausrichteinheit mit piezoelektrischen Aktuatoren
Speziell für Mikrolithografie und Weltraumoptiken mit einem Durchmesser bis zu 800 mm, 2000 mm Höhe und 1500 kg Gewicht
www.trioptics.comAll-granite, all-air bearing construction provides exceptional rigidity and thermal stability, smooth motion and unrivaled accuracy
Additional alignment unit equipped with heavy duty piezoelectric actuators provides automated lens alignment with submicron accuracy
Specifically designed for microlithography and space optics with diameters up to 800 mm, height 2,000 mm and weight 1,500 kg
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