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Primeri s interneta (nije provereno)

Effizientes Bottom-up Fill von TSV mit einem hohen Aspektverhältnis

Minimales Overburden mit gleichmäßiger Schichtdickenverteilung

Void-freie Kupferabscheidung in den feinsten Strukturen

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Efficient bottom-up filling of high aspect ratio TSVs

Minimal overburden with uniform copper thickness distribution

Void-free copper deposition of smallest features

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Everplates drei Komponenten Organic Additive-Systeme bestehen aus Accelerators, Suppressors und Levellers für überragende Fülleigenschaften bei hohen Aspektverhältnissen der Strukturen ( AR ).

Die additiven Systeme wurden entwickelt, um den Bottom-up Fill zu steigern und um eine gleichmäßige Kupferabscheidungsrate mit minimalem Overburden für die Chemical Mechanical Planarization (CMP) zu erhalten.

Eigenschaften und Vorteile

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s three component organic additive systems consist of accelerators, suppressors and levelers for superior filling performance of high aspect ratio ( AR ) structures.

The additive systems are designed to enhance the bottom-up fill and provide a uniform copper thickness distribution with minimal overburden for Chemical Mechanical Planarization (CMP).

Features and Benefits

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