Das Fraunhofer FEP ist spezialisiert auf das Puls-Magnetron-Sputtern ( PMS ) und die Regelung reaktiver Sputterprozesse.
Durch eine pulsförmige Einspeisung der elektrischen Energie bei der Magnetron-Gasentladung können störende Arcing-Prozesse reduziert werden.
www.fep.fraunhofer.deThe Fraunhofer FEP is specialized in pulse magnetron sputtering ( PMS ) and the control of reactive sputter processes.
A pulsed electrical energy feed in the magnetron gas discharge allows undesired arcing processes to be reduced.
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